Braitheann na buntáistí feidhmíochta a bhaineann le cadhnraí ar theocht íseal ar phróisis mhúnlaithe bheachtais chun claochlú cobhsaí a bhaint amach ó ábhair go gléasanna. Is é an croí atá ann ná inoiriúnaitheacht teocht íseal, comhsheasmhacht struchtúrach, agus féidearthacht táirgthe inscálaithe a chothromú trí nuálaíocht próisis, ag leagan bonn láidir déantúsaíochta le haghaidh feidhmeanna iontaofa i dtimpeallachtaí foircneacha.
Is é ullmhú leictreoid an chéad chéim i múnlú. Cuireann cásanna teochta ísle ceanglais dhian ar scaipeadh ábhar gníomhach agus ar neart an nascáil idir-éadan. Baintear úsáid as próiseas corraithe grádáin le hullmhú sciodair: ar dtús, measctar comhpháirteanna soladacha agus leachtacha nuair a dhéantar lomadh ar luas íseal chun ceirtleán a dhíchur; ansin, briseann aonchineálú ardluais ceirtleáin bhoga; ar deireadh, cuireann degassing bhfolús cosc ar mhiocróbaill ó bheith ina hotspots logánaithe impedance ag teochtaí ísle. Ionchorpraítear sa phróiseas brataithe rialú nasc teochta-, ag cobhsú teocht an tsubstráit ag 25±2 céim agus taise Níos lú ná nó cothrom le 30% RH. In éineacht le bás easbhrúite scoilt, déantar tiús an scannáin fhliuch a rialú go beacht (earráid Níos lú ná nó cothrom le ±2μm), ag cinntiú go sroicheann aonfhoirmeacht dlús ciseal an ábhair ghníomhach níos mó ná 98% tar éis a thriomú, ag laghdú teipeanna díorma de bharr tiúchan struis logánta le linn rothaíochta íseal teochta.
Ní mór do mhúnlú leictreoid solúbthacht agus cruinneas tríthoiseach a chothromú. Úsáideann an próiseas rollta straitéis grádáin brú ilchéime: caomhnaíonn brú íseal (Níos lú ná nó cothrom le 10kN/m) ag an gcéim bhrúite tosaigh porosacht idircháithníneach chun iompar ian a éascú; Méadaíonn an chéim mhionbhrúite brú de réir a chéile go 30kN/m chun dlús an chomhbhrúite a fheabhsú. Ag an am céanna, soláthraíonn tomhas tiús léasair ar líne aiseolas fíor-ama chun an bhearna sorcóir a choigeartú, chun diall tiús leictreoid a rialú laistigh de ± 1.5μm chun éagothroime dáileacháin reatha a chosc ag teocht íseal mar gheall ar thiús míchothrom. Úsáideann an próiseas slitting teicneolaíocht dhinimiciúil cúitimh lanna ciorclach chun burrs imeall (Níos lú ná nó cothrom le 5μm) de bharr caitheamh lanna a fhritháireamh, cosc a chur ar burrs an deighilteoir a tholladh agus micrea-chiorcaid a chruthú le linn rothaíochta ar theocht íseal.
Díríonn cóimeáil na gceall ar shéalú comhéadain agus ar bhainistíocht theirmeach roimh-leabú. Le linn an phróisis cruachta nó foirceannadh, cinntíonn córas suite amhairc (cruinneas ± 0.02mm) ailíniú leictreoid, rud a laghdóidh an baol go ndéanfaí comhéadain mí-ailínithe de bharr difríochtaí leathnaithe teochta íseal. Úsáidtear próiseas ilchodach brú te le hinchochlú, réamhthéamh an ciseal ghreamaitheacha ag 120 céim ar dtús, ansin fuar-brú ag 20MPa chun é a mhúnlú, ag méadú an neart nasctha idir an scannán plaisteach alúmanaim agus na cluaisíní leictreoid chun an treanú os cionn 15N/cm, agus bac ar thaise faoi bhun 15N/cm} coinníollacha arda-taise. Chun aghaidh a thabhairt ar an riachtanas féin-téimh, ionchorpraítear i roinnt próiseas líonraí seoltacha nanasnáithín réamhleabaithe idir na leictreoidí. Comhtháthaíonn comhbhrú an t-aonad téimh agus na leictreoidí, rud a sheachnaíonn luaineachtaí friotaíochta teagmhála a thugtar isteach trí tháthú níos déanaí.
Tá sé ríthábhachtach rialú teochta ríomhchláraithe sa chéim iar-phróiseála. Baintear feidhm as straitéis luchtaithe céimnithe le linn an fhoirmithe: gníomhaíonn sruth tosaigh 0.05C íseal{-an scannán SEI, agus méadú 0.2C ar an voltas sprice ina dhiaidh sin. Comhcheanglaítear é seo le seomra teochta tairiseach (-5 céim ±1 céim ) chun coinníollacha íseal-teochta a insamhail, rud a fhágann go gcruthófar ciseal comhéadain dlúth aonfhoirmeach. Is éard atá i gceist le tástáil aosaithe 48 uair an chloig de stóráil statach ag -20 céim go dtí an scáileán le haghaidh titeann acmhainne luath de bharr lochtanna próisis.
Faoi láthair, tá próisis fhoirmithe cadhnra ar theocht íseal ag forbairt i dtreo na hintleachta agus na glaineachta. Trí fhuinneoga paraiméadar a bharrfheabhsú trí ionsamhlúchán digiteach dúbailte, in éineacht le rialú deannaigh i seomraí glan (Aicme 1000), tá méadú tagtha ar an táirgeacht ó 85% go dtí os cionn 95%. Soláthróidh aibíocht an chórais bheachtais déantúsaíochta seo réitigh fuinnimh ísealteochta níos iontaofa do thaighde polar, stóráil fuinnimh ar airde, agus réimsí eile.
